2017年5月8日,國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”(簡稱“02重大專項”)實施管理辦公室和總體組組織任務(wù)專家組和財務(wù)專家組對有研半導(dǎo)體承擔(dān)的“200mm硅片產(chǎn)品技術(shù)開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化能力提升”項目進(jìn)行了正式驗收。北京市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會主管領(lǐng)導(dǎo)及02專項總體組技術(shù)總師到會。我院黃松濤副院長和周旗鋼副院長參加了驗收會。參會人員還包括會計師事務(wù)所項目主審、用戶代表、項目責(zé)任專家、項目(課題)負(fù)責(zé)人、地方科技主管部門人員及我司參與項目的主要骨干。
該項目形成了200mm硅單晶拋光片和200mm硅外延片制備的成套技術(shù),建成月產(chǎn)10萬片的生產(chǎn)線,自主開發(fā)了200mm硅單晶輕摻拋光片、200mm硅單晶重?fù)綊伖馄戎攸c產(chǎn)品,達(dá)到0.13微米技術(shù)水平,產(chǎn)品為國內(nèi)領(lǐng)先集成電路廠商批量應(yīng)用,并獲得海外知名廠商的正片訂單。經(jīng)過任務(wù)資料審查、財務(wù)資料審查、現(xiàn)場測試、現(xiàn)場考察、任務(wù)會議驗收、財務(wù)會議驗收等多個環(huán)節(jié)的驗收,與會專家認(rèn)為各項任務(wù)和指標(biāo)均已達(dá)成,一致同意項目及其兩個課題通過任務(wù)和財務(wù)驗收,并給予優(yōu)秀分?jǐn)?shù)評價。
該項目是有研半導(dǎo)體近年來重點開展的核心技術(shù)產(chǎn)業(yè)化項目,項目的順利開展實現(xiàn)了我國200mm硅材料產(chǎn)業(yè)升級,使企業(yè)獲得了科研成果和市場經(jīng)濟(jì)效應(yīng)的雙豐收,促進(jìn)了公司產(chǎn)品結(jié)構(gòu)優(yōu)化調(diào)整。目前200mm硅片產(chǎn)品市場需求旺盛,具有良好的發(fā)展前景,公司將抓住市場機(jī)遇、擴(kuò)大市場份額、持續(xù)穩(wěn)定發(fā)展。