2015年6月16至-17日，國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（簡稱“02重大專項”）主管部門——02重大專項實施管理辦公室和總體組組織專家對有研總院牽頭承擔(dān)并由有研半導(dǎo)體材料有限公司實施的 “硅材料設(shè)備應(yīng)用工程” 項目進(jìn)行了正式驗收，參會人員包括任務(wù)和財務(wù)專家組、地方科技主管部門人員，項目責(zé)任專家，項目（課題）負(fù)責(zé)人，項目（課題）任務(wù)/財務(wù)管理人員，專項實施管理辦公室和總體組領(lǐng)導(dǎo)葉甜春總師和王曦院士到會。驗收環(huán)節(jié)包括現(xiàn)場測試、任務(wù)驗收、財務(wù)驗收。與會專家一致同意項目及七個課題均通過驗收，并評價為“優(yōu)秀”分?jǐn)?shù)。
“硅材料設(shè)備應(yīng)用工程”項目面向90-65nm極大規(guī)模集成電路用300mm硅單晶及拋光片制備技術(shù)需求，開發(fā)成功國產(chǎn)首臺套300mm硅單晶制備或硅片加工的單晶生長裝備、多線切割機(jī)、精密磨削機(jī)、雙面拋光機(jī)、單面精密拋光機(jī)、高溫立式退火爐，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，同時建成300mm硅材料設(shè)備驗證平臺，由下家考核上家，完成生產(chǎn)環(huán)境下的驗證，并實現(xiàn)示范應(yīng)用。項目形成了近百項核心專利，打造了工藝與設(shè)備緊密融合的創(chuàng)新團(tuán)隊，建立了300mm硅材料設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化平臺，實現(xiàn)了半導(dǎo)體領(lǐng)域的直接銷售和在光電、光伏等泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的輻射推廣應(yīng)用，帶動了各課題單位的快速發(fā)展。項目的實施將促進(jìn)我國半導(dǎo)體設(shè)備的提升，為我國大直徑硅材料產(chǎn)業(yè)化發(fā)展奠定基礎(chǔ)。項目的成功驗收也進(jìn)一步鞏固了有研總院在國內(nèi)半導(dǎo)體材料界的龍頭地位。
該項目是一次鏈條式創(chuàng)新的有益嘗試，采用用戶牽頭模式，集合了浙江晶盛、中電45所等多家國內(nèi)設(shè)備制造單位，是一次協(xié)作良好的集團(tuán)作戰(zhàn)。專項實施辦公室和總體組領(lǐng)導(dǎo)認(rèn)為，有研半導(dǎo)體公司在其中發(fā)揮了重要作用，并希望各設(shè)備的商業(yè)應(yīng)用和進(jìn)一步創(chuàng)新要繼續(xù)跟進(jìn)。