11月8日上午，隨著有研集團(tuán)所屬有研工研院設(shè)計(jì)制造的GREB2800大型電子束熔煉爐在麗水成功“點(diǎn)火開爐”，國內(nèi)第一個(gè)電子級(jí)超大規(guī)模集成電路制造用超高純鉭材料產(chǎn)業(yè)基地正式投產(chǎn)。

鉭金屬是國家重要的戰(zhàn)略資源，是超大規(guī)模集成電路制造中不可少的關(guān)鍵性材料。全球應(yīng)用于高端芯片制造用超高純鉭材技術(shù)被美國和日本兩家公司壟斷，我國完全依賴進(jìn)口。國產(chǎn)超高純鉭材料產(chǎn)業(yè)基地的建成，填補(bǔ)了該領(lǐng)域的空白，將結(jié)束我國長期依賴進(jìn)口的局面。

大功率電子束熔煉爐是超高純鉭材料制備的關(guān)鍵核心裝備之一，也是我國的重大短板裝備之一。有研工研院針對(duì)電子級(jí)超高純鉭電子束熔煉裝備開展技術(shù)攻關(guān)，自主研發(fā)出單槍功率達(dá)到800kW的大功率電子束熔煉爐，同時(shí)也是目前國內(nèi)單槍功率最大的電子束熔煉爐，設(shè)備水平國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進(jìn)。該設(shè)備具有完整的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，實(shí)現(xiàn)了我國超高純鉭材料制備用大功率電子束熔煉爐的完全國產(chǎn)化，為解決集成電路制造用材料的國產(chǎn)化提供了有力支撐。