2022年7月9日,中國集成電路行業(yè)最具影響力的“2022中國集成電路創(chuàng)新聯盟大會”舉行,會上頒發(fā)了第五屆集成電路產業(yè)技術創(chuàng)新獎(簡稱“IC創(chuàng)新獎”)。有研億金憑借“12吋集成電路用超高純銅及其合金靶材量產應用”項目榮獲第五屆“IC創(chuàng)新獎-成果產業(yè)化獎”。

“IC創(chuàng)新獎”由中國集成電路創(chuàng)新聯盟主辦,由國內集成電路產業(yè)技術領軍人才、戰(zhàn)略科學家以及申報項目所屬領域的頂級權威專家等提名評審,是集成電路產業(yè)最重要的技術獎項之一。集成電路全產業(yè)鏈十大成果產業(yè)化獎包括集成電路設計、制造、封測、設備、材料全領域,旨在表彰集成電路創(chuàng)新成果產業(yè)化推進和市場拓展上取得突出業(yè)績的單位,材料領域只有兩家企業(yè)獲獎。有研億金的“12吋集成電路用超高純銅及其合金靶材量產應用”成功突破了高端集成電路用超高純銅及其合金靶材制備技術,改變了相關產品長期被國外壟斷的被動局面,為極大規(guī)模集成電路技術發(fā)展提供關鍵支撐,有力地保障了我國集成電路產業(yè)鏈和供應鏈安全,獲得該獎實至名歸。這是繼公司獲得“集成電路用高純鈷原料及高純鈷靶材制造技術”和“集成電路用12英寸超高純銅靶材成套制備技術”后,又一次獲得聯盟的獎勵。

超高純銅及其合金靶材是先進集成電路制造工藝中最重要的互連線材料,在12英寸晶圓制造中用于90nm至7nm先進制程芯片內元件互連,在后道先進封裝中用于芯片間高密度封裝。在國家科技重大專項、北京市科技項目等項目支持下,有研億金經過10余年不懈努力、探索創(chuàng)新,自主攻克了超高純銅深度凈化、高品質熔鑄、微觀組織調控及高可靠焊接等多項超高純銅及其合金靶材制備中的核心關鍵技術,產品性能達到國際先進水平,填補了國內空白。該項目還實現了超高純銅原材料的梯次應用及低碳綠色、可循環(huán)利用,解決了大規(guī)格、超高純靶材批量穩(wěn)定控制的工程化難題。有研億金已成為國際上僅有的三家掌握99.9999%級超高純銅及其合金從原材料提純到靶材制備垂直一體化全套技術的企業(yè),成為我國集成電路超高純銅及其合金靶材核心供應商。
“知崇禮卑,止于至善”,有研億金將以此次獎勵為契機,繼續(xù)砥礪深耕,致力于關鍵核心技術的新突破,努力成為集成電路核心材料領域的領跑者,為我國集成電路產業(yè)的騰飛貢獻自己的力量。